Application d'un aperçu en plastique de haute performance / PPS dans le champ semi-conducteur

February 10, 2023

Application d'un aperçu en plastique de haute performance / PPS dans le champ semi-conducteur

Tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs, le rôle des plastiques est principalement l'emballage et la transmission, la connexion de divers processus de traitement, la prévention de la pollution et les dommages, l'optimisation du contrôle de la pollution et l'amélioration du rendement des processus de fabrication clés des semi-conducteurs. Les matériaux plastiques utilisés comprennent PEEK, PPS, PP, ABS, PVC, PBT, PC, fluoroplastique, PAI, COP, etc. Avec le développement continu de la technologie semi-conducteurs, les exigences de performance des matériaux augmentent également et plus.

1. Anneau de retenue CMP

Le polissage mécanique chimique (CMP) est une technologie de processus clé dans le processus de production de la plaquette. Pendant le processus de broyage, l'anneau de retenue CMP est utilisé pour réparer la plaquette et la tranche. Le matériau sélectionné doit avoir une bonne résistance à l'usure, une stable dimensionnellement, une résistance chimique, un traitement facile et éviter les rayures et la contamination de la plaquette / surface ronde.
Les anneaux de retenue CMP sont utilisés pour contenir des puces pendant le broyage. Le matériau sélectionné doit éviter les rayures et la contamination de la surface de la puce. Il est généralement fait de sulfure de polyphénylène standard.
Peek a une stabilité dimensionnelle élevée, une procédabilité facile, de bonnes propriétés mécaniques, une bonne résistance à la corrosion chimique et une bonne résistance à l'usure. Par rapport aux anneaux PPS, les bagues de conservation du CMP en aperçu ont une résistance à l'usure plus forte et le double de la durée de vie, réduisant ainsi les temps d'arrêt et l'augmentation du rendement en puce.
Matériel: Peek, sulfure de polyphénylène

2. Carrier des plaquettes

Les porteurs de plaquettes sont utilisés pour charger des plaquettes, y compris des boîtes de porteurs de plaquettes, des boîtes de transfert de plaquettes et des bateaux à plaquettes. Les WIME WAVERS sont stockés dans des boîtes d'expédition représentent une grande partie de l'ensemble du processus de production, et le matériel, la qualité et la propreté de la boîte à plaquette lui-même peuvent avoir un impact plus ou moins important sur la qualité des plaquettes.
Les porteurs de plaquettes utilisent généralement une résistance à haute température, d'excellentes propriétés mécaniques, une stabilité dimensionnelle, une durabilité, des matériaux antistatiques, de faiblesse à faible pergage, de faibles précipitations et des matériaux recyclables. Powek peut être utilisé pour fabriquer des transporteurs pour les processus de transport généraux. Le coup d'œil antistatique est généralement utilisé. PEEK a de nombreuses excellentes propriétés, telles que la résistance à l'abrasion, la résistance chimique, la stabilité dimensionnelle, le dépassement antistatique et le pas bas, ce qui aide à prévenir la contamination des particules. Et améliorer la fiabilité du traitement, du stockage et du transfert des puces.
Les matériaux comprennent: Peek, PFA, PP, PES, PC, PEI, COP, etc., généralement après modification antistatique

3. Boîte de masque

Un Photomask est un maître de modèle utilisé dans le processus de photolithographie dans la fabrication de puces. Il est basé sur du verre de quartz et recouvert de métal chromé pour bloquer la lumière. En utilisant le principe de l'exposition, la source lumineuse est projetée sur la tranche de silicium à travers un photomasque pour exposer et afficher des modèles spécifiques. Toute poussière ou rayures adhérant au photomasque dégradera la qualité de l'image projetée. Par conséquent, il est nécessaire d'éviter la contamination du photomasque et d'empêcher les particules générées par l'impact ou la friction d'affecter la propreté du photomasque.
Pour éviter les dommages aux Photomasses dus à la brouillard, au frottement ou au déplacement, les gousses de photomasque sont généralement en matériaux antistatiques et à faible épuisement et durable.
Peek a les caractéristiques de la dureté élevée, très peu de génération de particules, de propreté élevée, d'antistatique, de résistance à la corrosion chimique, de résistance à l'usure, de résistance à l'hydrolyse, d'une bonne résistance diélectrique et d'une bonne résistance au rayonnement. Et pendant le traitement des réticules, les copeaux de réticule peuvent être stockés dans un environnement avec une baisse de la contamination ionique faible et faible.
Matériel: aperçu anti-statique, PC anti-statique, etc.

4. Outils de plaquette

Outils pour serrer les tranches ou les tranches de silicium, telles que les pinces à plaquettes, les stylos d'aspiration sous vide, etc., lors de la serrage des plaquettes, les matériaux utilisés ne rayeront pas la surface de la plaquette et n'auront pas de résidu, garantissant l'intégrité de la propreté de la surface de la plaquette.
Peek a les caractéristiques d'une résistance à haute température, d'une résistance à l'usure, d'une bonne stabilité dimensionnelle, d'un taux de dégoûtant faible et d'une bonne hygroscopicité. Lorsque vous serrez des plaquettes et des plaquettes avec des pinces à plaquettes, il n'y aura pas de rayures sur la plaquette ou la surface de la tranche. Le grattage ne provoque pas de résidus sur les plaquettes et les plaquettes en raison de la friction, améliorant la propreté de surface des plaquettes et des plaquettes.
Matériel: Jetez un coup d'œil

5. Prise de test de package semi-conducteur

Une prise de test est un appareil qui connecte électriquement le circuit direct de chaque composant semi-conducteur à un instrument de test. Différentes prises de test sont utilisées pour tester diverses micropuces spécifiques au concepteur IC. Le matériau utilisé pour la prise de test doit répondre aux exigences d'une bonne stabilité dimensionnelle, d'une résistance mécanique élevée, d'une formation de bavures, d'une bonne durabilité, d'une large plage de températures et d'un traitement facile.
Matériel: Peek, PPS, PAI, PI, PEI