Semitron® MPR 1000 PAI

Les formes SEMITRON® MPR 1000 possèdent une excellente résistance à la chaleur et des taux bas de dépression et d'érosion dans les chambres à plasma. Ce matériau de haute pureté à faible teneur en ionique est souvent choisi pour les applications de chambre à vide dans les sous-segmentations de gravure, de MCV et d'implants ioniques dans l'industrie des semi-conducteurs et de l'électronique.

Semitron® MPR 1000 montre une durée de vie accrue sur les matériaux traditionnels, par exemple jusqu'à 25x sur le polyimide dans l'ozone dans certains cas. En raison de sa longévité, il est spécifié par rapport aux matériaux traditionnels utilisés dans les applications de chambre à vide telles que le quartz, la céramique, les polyimides et d'autres plastiques d'ingénierie.

Propriétés matérielles

Contenu ionique faible et faible envergure

Excellente résistance à la chaleur

Taux d'érosion minimisée dans les chambres à plasma

Résistance, durabilité et machinabilité optimales

Conçu spécifiquement pour les applications de chambre exigeantes

Applications: Chambres à vide à base de plasma, anneaux de serrage, anneaux de tranchés, vis, épingles, pommes de douche, anneaux de mise au point, isolateurs, coussinets à vide

À propos de Semitron ®

Les produits Semitron® Semiconductor de qualité ont été développés pour aider les concepteurs et les utilisateurs à optimiser les performances de l'équipement de fabrication d'appareils. En plus de la fabrication d'appareils, bon nombre de ces matériaux sont idéaux pour des environnements spécifiques où l'usure, la résistance chimique et la gestion de l'électricité statique sont nécessaires.

Deux groupes de produits ont été développés. Un, bien adapté aux applications de gestion des appareils et de test, et une seconde pour les applications CMP, plasma et gravure de la chambre de la nouvelle génération.

Les grades semintron sont disponibles en feuille, canne (certaines formulations) et des pièces usinées.