Jetez un coup d'œil pour semi-conducteur tecAPEEK®CMP naturel

TECAPEEK CMP Natural a été spécifiquement développé pour la retenue de la RANE de CMP et fait partie du portefeuille d'Ensinger pour l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un matériau en plastique PEEK (PolyetheThetheTheTone) non rempli basé sur le polymère Victrex® PEEK. Lorsqu'il est usiné aux anneaux de retenue CMP, les propriétés spéciales du matériau de PEEK permettent un port de rainure intérieure (également connu sous le nom d'attaque latérale) par rapport au plastique PEEK standard, ce qui réduit considérablement Risques des défauts de plaquettes. Parmi les matériaux du cycle de conservation du CMP, le CMP Tecapeek offre les meilleures caractéristiques d'abrasion et de frottement, les propriétés mécaniques, la stabilité dimensionnelle et la résistance à la température, permettant ainsi la plus longue durée de vie de l'anneau.

Étant donné que la résistance à l'usure du plastique PEEK est trois fois meilleure que celle du PPS, et que Tecapeek CMP Natural a 20% de meilleure résistance à l'usure que les produits de Powek, il y a donc un avantage clair en termes de durée de vie.

Généralement, les consommables CMP sont modifiés sur des multiples de l'un ayant la vie la plus courte, généralement le pad. Par conséquent, le synchronisation du remplacement des anneaux est souvent aligné sur le «stop» du coussin. Par exemple, dans certaines conditions, un anneau PPS peut durer environ 4 changements de pad, un anneau de coupure standard pourrait durer jusqu'à 12 changements de pad, et un anneau CMP Tecapeek pourrait durer jusqu'à 14 changements de pad. Cela a un impact favorable important sur le taux de change des anneaux et le coût total de possession.

En plus de l'optimisation des propriétés des matériaux, Ensinger a également développé des tailles de tubes spéciales qui s'adaptent mieux aux tailles typiques des anneaux de retenue CMP, permettent ainsi des déchets et des coûts réduits pendant l'usinage. Par exemple, l'utilisation de la taille du tube avec OD 350 mm / id 300 mm permet des économies de coûts de matériaux jusqu'à 27% par rapport à la DO 360 / ID conventionnelle 290 mm.

Comme pour toutes les notes de semi-conducteurs d'Ensinger, les tubes naturels TECAPEEK CMP sont traités conformément à la copie des semi-conducteurs exactement aux exigences (également connues sous le nom de copie exacte ou CE) et des contrôles de qualité plus stricts par rapport aux grades industriels de PEEK. Des contrôles et des mesures de qualité supplémentaires permettent une réduction des risques d'impuretés et une amélioration de la contrainte interne et de la stabilité dimensionnelle par rapport au plastique industriel standard. Nous pouvons confirmer que Tecapeek CMP Natural remplit les limites imposées par la directive ROHS 2011/65 / UE Restriction des substances dangereuses dans l'équipement électrique, et peut également fournir des déclarations de conformité supplémentaires sur demande.

Pour les anneaux de retenue CMP qui nécessitent un coût de matériau inférieur et lorsqu'une durée de vie inférieure peut être utilisée, Ensinger propose une version PPS - Tecatron CMP naturel, également avec un profil de propriété spécial aligné sur les anneaux de retenue CMP. Pour les autres applications semi-conductrices qui ne nécessitent pas ce profil de propriété spéciale, Ensinger offre une version PEEK de qualité semi-conductrice plus rentable en tant que plaque, tige et tubes - TECAPEEK SX NATUREL.

FAITS

Désignation chimique

Peek (PolyetheTheThekeTone)

Couleur

beige

Densité

1,31 g / cm3

CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES

Bonne température de déflexion de la chaleur

bonne machinabilité

Flame inhérente ignifuge

hydrolyse et surchauffée résistante à la vapeur

durcissement élevé

Résistance contre les rayonnements à haute énergie

Bonnes propriétés de diapositives et d'usure

résistance élevée à la fluage

Industries cibles

Technologie des semi-conducteurs

TECAPEEK®CMP Fiche technique naturelle technique